Термическая обработка в окислительной среде
При окислительном отжиге необходимо избегать осмоления органических загрязнений и образования трудноудаляемых смолообразных пленок, поэтому детали следует помещать сразу в горячую зону печи окисления и обеспечивать хороший доступ к деталям свежих порций воздуха (например, путем циркуляции и нагнетания воздуха вентиляторами). Допустимая температура термической обработки на воздухе Та — 150°С, Nb — 250°С, Мо — 500°С, W — 800°С, Сг — 1000°С.
В окислительной среде рекомендуется производить обжиг покрытий — это обеспечивает малое газовыделение в готовом приборе и хорошее сцепление частиц покрытия друг с другом и с поверхностью подложки.
После изготовления стелянных изделий, стеклометаллических и стеклокерамических соединений в них образуются термические и коэффициентные напряжения.